精密运动平台
凯为传动精密运动平台采用直驱直线电机驱动，大理石平台系统稳定性好，可实现微米(um)级定位精度。根据客户需求客制化定制，广泛应用于半导体、激光加工、检测设备等高精度场景。
产品型号
大理石龙门双驱精密运动平台
XYZ工作台，X轴底座为大理石横梁，为三轴精密定位平台。龙门结构，横梁随XY轴运动，双Y轴各由1个驱动器驱动。直线电机驱动，光栅尺或磁栅尺反馈，um级重复定位精度。
大理石横梁三轴精密定位um级重复精度可定制行程
| 参数 | X轴(上轴) | Y1/Y2轴(下轴) |
|---|---|---|
| 速度(mm/s) | <1500 | <1500 |
| 加速度(G) | <1 | <1 |
| 定位精度(μm) | ≤±1.5 | ≤±1.5 |
| 重复定位精度(μm) | ≤±1 | ≤±1 |
| 直线度(μm) | ≤±2/300mm | ≤±2/300mm |
十字精密运动平台
XY工作台，可以实现微米级重复定位精度。最大速度1500mm/s，最大加速度2G。直线电机驱动，光栅尺或磁栅尺反馈，采用板金+风琴罩双重防尘方式。
微米级精度最大速度1500mm/s风琴罩双重防尘可选大理石/铝型材
| 参数 | X轴(上轴) | Y轴(下轴) |
|---|---|---|
| 有效行程(mm) | 100-600 | 100-600 |
| 最大速度(m/s) | 1.5 | 1.5 |
| 最大加速度(G) | 2 | 2 |
| 重复精度(μm) | ±1 | ±1 |
| 绝对精度(μm) | 3(补偿后) | 3(补偿后) |
典型应用
半导体加工检测设备
玻璃检测行业
激光行业
精密数控机床
高端医疗器械
LED封装检测
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